Научно-образовательный центр «Нанотехнологии» был создан в Томском университете систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР) в 2008 году для подготовки кадров высшей квалификации и проведения научных исследований в области СВЧ наноэлектроники и нанотехнологий. Всего в стране возможность создания таких наноцентров получили тогда тринадцать вузов. Центр удалось создать за счет средств федеральной целевой программы «Развитие инфраструктуры наноиндустрии на 2008–2010 годы». В 2010 году томских наноэлектронщиков ждала очередная победа. Два томских проекта фирмы «Микран» (см. «Бизнес в СВЧ-диапазоне» в «Эксперте-Сибирь» № 6 за 2012 год) и НИИ полупроводниковых приборов, головным исполнителем которых являлся ТУСУР, вошли в список победителей открытого публичного конкурса получателей субсидий на реализацию комплексных проектов по созданию высокотехнологичных производств. Один проект предполагал создание надежных полупроводниковых источников света, второй — производство аналогово-цифровой СВЧ-аппаратуры на основе собственной GaAs (арсенид галлия) элементной базы.
Сегодня центр «Нанотехнологии» входит в российскую национальную нанотехнологическую сеть по направлениям «наноэлектроника» и «подготовка кадров». Среди его партнеров НПФ «Микран» (Томск), Институт СВЧ полупроводниковой электроники РАН (Москва), Исследовательский институт СВЧ и оптической связи XLIM при Лиможском университете (Франция), Французское космическое агентство (Тулуза, Франция), Голландский астрономический центр (Нидерланды) и другие. Начальник научного управления ТУСУРа и одновременно директор наноцентра профессор Николай Малютин говорит, что его подразделение стало рентабельным. Не без участия государства, но стало. «Получили по ФЦП грант на 129,5 миллиона рублей, а заработали уже 142 миллиона. Когда нас проверяли финансовые органы, они долго не могли в это поверить», — признает Малютин.
— Да, мы стартовали в 2008 году, но проект по созданию научно-образовательного центра для нас был, по сути, логическим продолжением тех работ, которые ТУСУР уже давно ведет в направлении развития микроэлектроники, — говорит Николай Малютин. — Поэтому наноцентр с самого начала ориентировался на вполне прикладные вещи. Прежде всего на создание монолитных интегральных схем, без которых невозможно ни одно современное радиоэлектронное средство в авионике, системах связи, радиолокации, измерительной технике. Понятно, что интегральные микросхемы — это уже занятие для особой категории людей, которые прекрасно знают радиотехнику, все современные способы проектирования и самое главное — владеют технологиями. До 2008 года ТУСУР, к сожалению, впрочем, как и все вузы, находящиеся в Сибири, не обладал такими технологиями.
— Николай Дмитриевич, а если пояснить в двух словах, то в чем суть такой технологии?
— Ее суть состоит в том, что нужно взять полупроводниковую пластину и нарисовать на ней электронным лучом или оптическими способами микросхему, которая затем будет работать. Таких операций много, может быть до двухсот, поэтому процесс весьма длительный, сложный и требует очень высокой квалификации от сотрудников. Наноцентр взялся за такую работу, и проектировался он таким образом, чтобы мы могли выпускать конечную высоколиквидную продукцию, избавленную от риска отсутствия спроса. Поэтому с самого начала ТУСУР взял ориентир на связь с промышленностью — мы выбрали в качестве партнера хорошо известную томскую фирму «Микран», — и эта тенденция для университета оказалась ключевой. Я не говорю о том, что у нас нет проблем научного плана… Они, конечно, есть, потому что любая технология, использующая арсенид галлия, требует постоянной бдительности. Сюрпризы случаются во время изготовления. Например, все кремниевые микросхемы, которые изготавливаются в мире, делаются на основе меди. Но выяснилось, что этого нельзя сделать в арсенид-галлиевых микросхемах, который собственно определяет сегодня качество всей СВЧ-техники в мире. Попытка использовать медь сразу наткнулась на фундаментальные ограничения, связанные со свойствами материалов.
— Удалось решить проблему?
— Конечно. Были развернуты работы, и впоследствии на рубеже 2009–2010 годов они стали основой для одного из проектов по постановлению № 218, который ТУСУР начал вместе с «Микраном». Получилось, что университет через «Микран» получает субсидию в размере 300 миллионов рублей, а «Микран» тратит свои 310 миллионов для того, чтобы развивать разработку и производство готовой продукции. Так и родилась технология производства новейших интегральных схем, которые в России сегодня освоены лишь на некоторых предприятиях и далеко не в промышленных масштабах. К тому же раньше, если речь шла о заказных микросхемах, многие разработчики просто разводили руками, поскольку считали это невозможным делом. Как только начал работать наноцентр — все стало совершенно реальным. Вообще, был сделан потрясающий рывок. Я как директор наноцентра до сих пор не верю в то, что можно было стартовать летом 2009 года и в 2010 году получить производство на площадях наноцентра. Центр сегодня выполняет самую ответственную операцию — изготовление затвора СВЧ-транзисторов. А дальше технологический процесс продолжается в «Микране» и там получается готовая микросхема, изделие.
— Многие специалисты, например в «Роснано», считают, что надо вкладываться в производство материалов…
— Я хотел бы сказать вещь, может быть, не очень приятную для москвичей. Да, многие говорят — материалы, материалы. Это мне напоминает — нефть, газ, металлы, золото, алмазы. Любой материал нужно приспособить! Из него нужно сделать что-то полезное. Будут это женские серьги — ради бога! Значит, мы начнем торговать легкой и при этом очень дорогой продукцией. Но что такое современная наноэлектроника? Это два человека, которые за сутки на одном технологическом участке могут произвести на пластине диаметром 100 миллиметров 36 тысяч транзисторов! Я так шучу с сотрудниками — Если я как директор получу с вас по 10 копеек за каждый транзистор, мне на работу можно будет не ходить. Поэтому я категорически не согласен с теми, кто везде говорит о материалах. Мы из-за этого проигрываем. Нужен продукт.
— Но все-таки сотрудничество Роснано и ТУСУРа можно назвать вполне состоявшимся?
— Мы достаточно успешно реализовали образовательный проект «Роснано» и воспользовались возможностью впервые за всю 50-летнюю историю ТУСУРа пригласить к себе не тех ученых, которые что-то могут, а тех, кто нам нужен, невзирая на то, где они находятся. Если нас интересовал профессор Лобышев, то он приехал к нам из США и прочитал лекции по эпитаксии. Одна знаменитая фирма, которая готовит электронику для Airbus и которая, видимо, противостоит нам в НАТО… Ну тем не менее мы пригласили к себе двух представителей. И они к нам приехали, правда, после замены другими специалистами и строжайшего контроля содержания лекций, но все-таки... Таким образом, десять иностранцев побывали у нас во время реализации образовательного проекта корпорации «Роснано», которая его финансировала. И этот проект сейчас представляет результат, который можно называть системой формирования образовательных ресурсов для динамично развивающихся отраслей. За неполный год у нас прошли обучение слушатели из «Роснано», Томского государственного университета (ТГУ), Новосибирского государственного университета (НГУ) и из нашего ТУСУРа. Выполнили выпускные работы, которые сразу пошли в дело. Одна из них меня просто потрясла. Два человека сделали работу, которая за год сэкономила «Микрану» 1,5 миллиона рублей.
— А нам есть чему научить мир, если мы обладаем такими технологиями?
— Поделиться, конечно, есть чем, но вот пример. Идет международная конференция European Microwave Week в Париже. За 40 лет первый раз приехали специалисты из России, более того — и Сибири, докладывать про технологическую работу по производству готовых изделий, в частности, затворов СВЧ-транзисторов. Докладывала девушка. Так вот, через год она у нас была украдена немцами. Правда, в этом оказалась виновата фирма «Райт», которая нам поставила нанолитограф, работающий с разрешением около 20 нанометров. Вот так примерно выглядит ситуация с наноделами.
— И как бы вы обрисовали ближайшие перспективы своей деятельности? В каком направлении предполагаете двигаться?
— В том же. С одной стороны, мы будем настаивать, чтобы нас учитывали как проектировщиков, как людей способных производить конечную продукцию, но с другой стороны, нам нужна отечественная материальная база. И никаких противоречий здесь нет, необходимы акценты. Иначе к 2015 году мы не получим те 900 миллиардов рублей объема производства наноиндустрии, о которых говорит Анатолий Борисович Чубайс и его команда.
Мы должны в рамках программы «ИНО Томск-2020» приложить максимум усилий для того, чтобы создать производство материалов в Томске. Недавно к нам приезжали представители одной российско-германской компании. Так вот они нацелены на то, чтобы в Томске появилось такое мощное производство, и это будет ключ к развитию микронаноэлектроники. Ведь хочется всегда иметь свое.
И еще одна ахиллесова пята российской наноэлектроники — это отсутствие своего оборудования. В ближайшем окружении, в Новосибирске например, уже существует достаточно точное машиностроение, весьма развитое, которое позволяет делать машины, необходимые нам. Мы много покупаем в Новосибирске, других городах. Но ключевых позиций на сегодня очень мало. Поэтому основную массу оборудования приходится закупать в Японии или Германии. Редкое оборудование сделано в России. Правда, кое-что сделали и в Томске, в институте сильноточной электроники. А такое оборудование очень необходимо для получения результата. Поэтому хотелось бы еще раз отметить — если не будет конечной продукции, и Чубайс, и министр образования, и те, кто зарядил эту программу — все они будут выглядеть бледно, потому что материалов ради материалов не бывает. Хотя я понимаю, что без них тоже проблема. Если бы мы построили в Томске фабрику по производству гетероструктур, мы бы стали совершенно независимыми. Но у меня складывается такое впечатление, что кто-то этого сильно не хочет. Или не может. Или просто не понимает процесс.